下载碳化硅半导体元件的制造方法的技术资料

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通过在p型碳化硅半导体部(1)的表面形成石墨烯层(11)之后,在石墨烯层(11)的表面形成金属电极(2),从而在p型碳化硅半导体部(1)和金属电极(2)的接合界面形成偶极。由此,使在p型碳化硅半导体部(1)和金属电极(2)的接合界面产生的电...
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