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一种包含有金属、聚酰亚胺及阻挡层结构的器件单元体及制作方法技术
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下载一种包含有金属、聚酰亚胺及阻挡层结构的器件单元体及制作方法的技术资料
文档序号:13544825
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本发明提供一种包含有金属、聚酰亚胺及阻挡层结构的器件单元体及制作方法,所述器件单元体包括衬底、绝缘氧化层、第一金属层、第一二氧化硅层、第一氮化硅层、聚酰亚胺、第二金属层、第二二氧化硅层和第二氮化硅层,其特征在于:所述第一金属层和聚酰亚胺依次...
该专利属于无锡中微晶园电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中微晶园电子有限公司授权不得商用。
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