下载双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构及薄膜晶体管的技术资料

文档序号:13544741

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本发明涉及一种双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构及薄膜晶体管,其中复合膜结构包括第一透明导电氧化物薄膜、第二透明导电氧化物薄膜和金属层,其中第一透明导电氧化物薄膜、金属层、第二透明导电氧化物薄膜从上到下依次设置,第一透明导电氧化物薄膜与...
该专利属于广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学授权不得商用。

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