下载阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统的技术资料

文档序号:13542459

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本发明涉及一种阴极配置(20),其包括:阴极本体,其容纳发射表面(32),用以在纵向方向(Z)中发射电子,其中,该发射表面由发射周围(35)界定;聚焦电极(40),其在横向方向中至少部分封闭该阴极本体,并且包括电子透射孔径(44),用以聚焦...
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