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晶片的生成方法技术
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文档序号:13541429
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提供晶片的生成方法,从锭高效地生成晶片。晶片的生成方法具有:分离起点形成步骤,将对于六方晶单晶锭具有透过性的波长的激光束聚光点定位在距锭的正面相当于要生成的晶片厚度的深度,并且使聚光点与锭相对地移动而对锭的正面照射激光束,形成与正面平行的改...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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