下载渐变In组分InGaN子量子阱的RTD二极管及工艺的技术资料

文档序号:13510693

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本发明公开了一种渐变In含量InGaN子量子阱的RTD二极管。包括:GaN外延层、n十GaN集电极欧姆接触层、第一GaN隔离层,第一InAlN势垒层、GaN主量子阱层、第二InAlN势垒层、渐变In组分的InGaN子量子阱、第二GaN隔离层...
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