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本发明提供一种太赫兹光路校准器、汇聚及平行光路校准装置，所述太赫兹光路校准器包括：太赫兹光路管、可见光光路管、太赫兹分色片及耦合光导出光路模块。本发明仅采用普通发散性光源即可完成对太赫兹光束的标识，大幅降低设备费用；有效的降低了太赫兹光路校...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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