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层叠膜和柔性电子器件制造技术
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文档序号:13504890
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一种层叠膜,其具有挠性基材、形成在上述基材的至少单侧的表面上的第1薄膜层和形成在第1薄膜层上的第2薄膜层,其中,上述第1薄膜层含有硅原子(Si)、氧原子(O)和碳原子(C),上述第2薄膜层含有硅原子、氧原子和氮原子(N),上述第1薄膜层和第...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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