下载一种电阻栅薄膜晶体管的技术资料

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本实用新型公开了一种电阻栅薄膜晶体管。电阻栅薄膜晶体管包括衬底、过渡层、栅端电极、电阻栅薄膜层、绝缘栅介质层、半导体有源层、源漏电极;所述电阻栅薄膜层位于栅端电极与绝缘栅介质层之间;所述栅端电极位于电阻栅薄膜层下方;所述源漏极在半导体有源层...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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