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本实用新型公开一种提高脉冲激光沉积薄膜均匀性的装置，包括：真空腔体、样品台、用于对样品台进行加热的加热机构、靶材和激光器，所述样品台、加热机构、靶材位于真空腔体内，一带俯仰分光镜和所述激光器位于真空腔体外，所述真空腔体安装有一聚焦镜，所述激...
该专利属于苏州科技学院所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科技学院授权不得商用。

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