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本实用新型公开了一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的方格孔；石墨框的4条边上均设有复数个顶针结构；且位于石墨框四周边缘的方格孔内具有至少1个顶针结构，使其内放置的硅片高出方格孔所在的水平面。本实用新型使石墨框四周边缘的方...该专利属于盐城阿特斯阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司授权不得商用。