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本发明公开了一种半导体结构与掩模。半导体结构形成于基底上，其包括第一区与第二区；第一区包围第二区；第一区具有第一图案密度；而第二区具有第二图案密度，其中第一图案密度小于第二图案密度；第二区包括中央区与边界区；中央区具有第一临界尺寸；边界区具...
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