下载一种具有金属缓冲层的发光二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:13464168

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本发明属于半导体领域,涉及一种具有金属缓冲层的发光二极管及其制备方法,其至少包括一衬底及依次位于所述衬底之上的AlN缓冲层和外延层,其特征在于:所述AlN缓冲层和外延层之间还插入一金属缓冲层,所述金属缓冲层由Al颗粒层和Ni金属膜层组成,所...
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