下载单晶炉硅溶液液面位置检测方法、装置及调整系统的技术资料

文档序号:13462002

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本发明提供一种单晶炉硅溶液液面位置检测方法、装置及对应的调整系统,其中该方法包括:向信号输入端输入电压信号,其中信号输入端的下端面始终位于硅溶液液面的下方;通过检测第一测量端和第二测量端的电压信号,获取第一测量端和第二测量端的电压信号检测状...
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