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一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺制造技术
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下载一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺的技术资料
文档序号:13461805
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一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺,结构为“三明治”结构,底层为透明导电电极,中间层为弹性有机透明聚合物层,顶层为柔性导电层;制备工艺是先在导电电极表面制备一层图形化的介电聚合物薄膜层,以此作为诱导模板;然后在透明导电电极表面制备...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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