一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺制造技术
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺，结构为“三明治”结构，底层为透明导电电极，中间层为弹性有机透明聚合物层，顶层为柔性导电层；制备工艺是先在导电电极表面制备一层图形化的介电聚合物薄膜层，以此作为诱导模板；然后在透明导电电极表面制备一层弹性有机透明聚合物层，将诱导模板置于弹性有机透明聚合物层上部，施加电压使弹性有机透明聚合物层受到的麦克斯韦应力克服表面张力以及粘滞阻力流变，直至复型过程结束；最后在已成型的弹性有机透明聚合物层表面制备一层导电聚合物水溶液，加热使溶剂挥发，在弹性聚合物薄膜层凹陷部分形成一层柔性导电层，实现变焦微透镜阵列结构灵活、性能优越和工艺简单的有机统一。【专利说明】一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺
本专利技术属于微纳制造中的变焦微透镜阵列
，具体涉及一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构和制备工艺。
技术介绍
在微纳光学
中，变焦微透镜阵列是一种极其重要的微光学元器件，具有光学性能可调、体积小、重量轻、无机械运动、稳定性好等诸多优点，在成像、微流体传感、自适应光学等诸多领域具有广阔的应用。目前的变焦微透...
【技术保护点】
一种基于电致动的变焦微透镜阵列结构，为“三明治”结构，其特征在于：底层为透明导电电极，中间层为弹性有机透明聚合物层，顶层为柔性导电层；未施加电场时，柔性导电层和弹性有机透明聚合物层处于稳定初始状态；施加电场时，柔性导电层与透明导电电极之间由于静电吸引会挤压弹性有机透明聚合物层，导致其薄膜厚度的减小，从而对微透镜阵列结构凸起区域结构产生挤压推动力，导致微透镜结构的曲率增大，通过改变施加的电场强度实现透镜曲率可控。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：田洪淼，邵金友，李祥明，王炎，王春慧，胡鸿，陈首任，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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