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大尺寸掩膜基板的制作方法技术
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文档序号:13460293
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本发明涉及一种大尺寸掩膜基板的制作方法,包括:提供多条横向膜片和多条纵向膜片;将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置,以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔;通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧,使得所述蒸镀孔的尺寸达...
该专利属于唐军所有,仅供学习研究参考,未经过唐军授权不得商用。
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