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本实施方式涉及可以进行高吞吐量下的试样的表面分析的SEM。该SEM具备电子枪、照射部和检测器。作为检测器的第一结构，包括MCP、阳极和倍增极。倍增极设定为比MCP输出面高的电位，阳极设定为比倍增极高的电位。阳极配置在比MCP输出面和倍增极的...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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