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一种基于CMOS图像传感器工艺的NP型单光子雪崩二极管制造技术
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下载一种基于CMOS图像传感器工艺的NP型单光子雪崩二极管的技术资料
文档序号:13449059
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本发明公开一种基于CMOS图像传感器工艺的NP型单光子雪崩二极管(SPAD),其基本结构包括:P型硅衬底上方设有深N阱;P阱形成于深N阱上方;P阱周围设有轻掺杂的保护环;N+区域形成于P阱上方并与保护环有一定的重叠;N+与P阱之间形成PN结...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。
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