下载一种氧化铈磨料制备方法及其CMP抛光应用的技术资料

文档序号:13427142

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本发明公开了一种氧化铈制备方法,其包括:步骤一:将pH调节剂、沉淀剂和铈源混匀,通过控制pH,制备得到碱式碳酸铈前驱体,其中,制备得到的所述碳酸铈前驱体为六方相、斜方相碳酸铈前驱体或两者的混合物;步骤二:进一步高温焙烧所得碱式碳酸铈得到氧化...
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