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一种压力可调可用于气体保护下的热压键合夹具制造技术
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下载一种压力可调可用于气体保护下的热压键合夹具的技术资料
文档序号:13404091
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本发明公开了一种压力可调可用于气体保护下的热压键合夹具,所述夹具包括带有弹簧上压件、弹簧、弹簧下压件、芯片固定件、筒体和锥形销,弹簧上压件具有三级凸台,弹簧下压件具有一级凸台和三级凹槽,弹簧的两端分别套在弹簧上压件的第三级凸台和弹簧下压件的...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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