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一种位置辅助芯片晶圆映射方法技术
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文档序号:13380700
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本发明公开了一种位置辅助芯片晶圆映射方法,包括以下步骤:包括以下步骤:利用移动台把待测元件移动到提取位置,并记录移动台的位置移动量的步骤;将被提取的待测元件和对应的移动台位置移动量或者由移动台位置移动量标定的坐标一起在测量环节中流转的步骤;...
该专利属于朱干军所有,仅供学习研究参考,未经过朱干军授权不得商用。
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