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在此提出的概念和方法是通过免除和/或减少传统物理(遮荫)掩蔽的使用而降低大量制造薄膜电池(TFB)的成本和复杂度。激光划线和其它物理无掩蔽图案化技术可满足一些或所有图案化需求。在一实施例中，制造薄膜电池的方法包含提供基板、沉积对应薄膜电池结...
该专利属于应用材料公司;摩托罗拉公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司;摩托罗拉公司授权不得商用。

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