下载一种超大单晶体生长炉的技术资料

文档序号:13374436

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本发明为一种超大单晶体生长炉,包括炉体、炉内晶体加热系统,所述炉体包括炉架、炉壳,所述炉架下部为支腿,上部为炉底铁板平台,所述炉底铁板平台上放置有中空的炉壳,所述炉底铁板平台上设置有开口通过所述的敞口连通所述炉壳的内部;所述升降系统顶部设置...
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