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一种应用于半导体器件热阻测量的器件自动固定装置制造方法及图纸
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下载一种应用于半导体器件热阻测量的器件自动固定装置的技术资料
文档序号:13372655
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本发明公开了一种半导体器件热阻测量中的自动固定装置,包括上位机、FPGA、驱动电路、步进电机、压力传感器、AD转换芯片、夹具。上位机与FPGA通过USB转TTL模块相连,FPGA通过驱动电路与步进电机相连,步进电机与夹具相连,压力传感器固定...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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