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双面电池的制作方法技术
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文档序号:13372393
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本发明公开了一种双面电池的制作方法,包括:S1:在硅衬底的正面生长氧化铝;S2:将硼离子注入至氧化铝中,将V族离子注入至该硅衬底的背面;S3:对步骤S2得到的结构进行退火处理,同时该氧化铝中的硼离子进入该硅衬底的正面中形成P型掺杂层。本发明...
该专利属于上海晶玺电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海晶玺电子科技有限公司授权不得商用。
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