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具有减小的栅极电阻的功率FET制造技术
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下载具有减小的栅极电阻的功率FET的技术资料
文档序号:13367067
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在一种实施方式中,一种具有减小的栅极电阻的功率场效应晶体管(FET)包括漏极、源极、栅极,以及包括栅极焊盘、栅极高速通道和多个栅极总线的栅极触点。该栅极总线由具有第一厚度的第一金属层形成,而该栅极焊盘和栅极高速通道均包括金属堆叠,金属堆叠包...
该专利属于英飞凌科技美国公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技美国公司授权不得商用。
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