下载一种快恢复二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:13367056

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本发明涉及一种快恢复二极管及其制作方法,二极管包括衬底和P+区,所述P+区在衬底上形成,共同构成PN结,其中衬底为二极管的阴极,P+区为二极管阳极;在阳极P+区的表面注入氢或氦,形成局域寿命控制层;本发明的二极管恢复特性既快且软;由于局域寿...
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