下载一种基板顶起装置、基板封装设备及方法的技术资料

文档序号:13367046

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本发明提供一种基板顶起装置、基板封装设备及方法。所述基板顶起装置,用于在第一基板和第二基板对合时顶起第一基板;包括:旋转机构、旋转杆、喷嘴、气体提供机构;旋转杆能够围绕旋转机构转动;喷嘴设置于旋转杆上;气体提供机构通过喷嘴吹送气体以顶起第一...
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