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反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置制造方法及图纸
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下载反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置的技术资料
文档序号:13357754
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本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置。该方法利用激光差动共焦光强响应曲线过零点与系统焦点精确对应这一特性,移动被测镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得被测镜位置差值L1,再移动反射镜对物镜焦...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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