下载多铁/压电复合结构及其存储器件、制备方法的技术资料

文档序号:13339628

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公开了一种多铁/压电复合结构,包括:基片;位于所述基片上由导电氧化物形成的底电极层;以及位于所述底电极层上的压电层和多铁薄膜层交替堆叠而形成的叠层;其中,多铁薄膜层与相邻的压电层彼此接触且一起形成三明治结构。本发明提供的多铁/压电复合结构利...
该专利属于唐山市盛泰建筑安装有限公司;苗君所有,仅供学习研究参考,未经过唐山市盛泰建筑安装有限公司;苗君授权不得商用。

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