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本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，电解质薄膜为非晶无定形态的锂磷氧氮薄膜，该制备方法采用射频磁控溅射方法。本发明方法制备的LiPON薄膜为非晶无定形态，离子电导率大于2×10‑6S/cm，并且具有热力学稳定性好和电化...
该专利属于惠州市佰特瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠州市佰特瑞科技有限公司授权不得商用。

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