下载微波微扰法测量湿度传感器内壁水膜厚度的系统和方法的技术资料

文档序号:13331532

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本发明公开了一种微波微扰法测量湿度传感器内壁水膜厚度的系统和方法,测量系统由信号处理及控制器、扫频信号源、隔离器、功率分配器、环形器、微波测量谐振腔、谐振频率扫描模块、压力计和温度计组成;测量方法包括以下步骤:测量微波测量谐振腔在TE111...
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