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本发明提出了一种蚀刻介质的流量调节装置和一种方法，装置包括：采集单元，采集流入每个管道和/或每个喷管的蚀刻介质的实时压力信号，并将采集到的每个实时压力信号发送至控制单元；控制单元，分别将接收到的每个实时压力信号与对应的预设压力信号进行比较，...该专利属于北大方正集团有限公司;珠海方正科技多层电路板有限公司;珠海方正印刷电路板发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;珠海方正科技多层电路板有限公司;珠海方正印刷电路板发展有限公司授权不得商用。