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本发明的阀装置具有：设置于流路块(20)内的凹部(22)、通过覆盖凹部(22)而形成供流体流动的阀室(21)的隔膜、在凹部(22)开口并且使流体流入阀室(21)的流入端口(23)、在凹部(22)开口并且使流体从阀室(21)流出的NC流出端口...
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