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本实用新型提供一种研磨垫调整器包括：第一调整盘及第二调整盘，第一调整盘表面设置有第一尺寸的磨料颗粒，第二调整盘表面设置有第二尺寸的磨料颗粒，第一调整盘及第二调整盘中央设置有通孔，其中，第一尺寸小于第二尺寸。本实用新型的目的在于提供一种研磨垫...该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。