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双重自对准金属氧化物TFT制造技术
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下载双重自对准金属氧化物TFT的技术资料
文档序号:13309897
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本发明公开了双重自对准金属氧化物TFT。具体,本发明公开了在透明衬底上制造金属氧化物TFT的方法,包括以下步骤:在所述衬底的正面上布置不透明栅极金属区域,沉积覆盖所述栅极金属和周围区域的透明栅极电介质层和透明金属氧化物半导体层,在所述半导体...
该专利属于希百特股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过希百特股份有限公司授权不得商用。
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