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本发明提供的一种电子束准直装置及电子束准直系统，其中，一种电子束准直装置，包括准直模块，该准直模块包括叠在一起的三层外尔半金属薄膜，三层外尔半金属薄膜中位于两侧的两层外尔半金属薄膜为相同的薄膜，且位于中间的外尔半金属薄膜与位于两侧的外尔半金...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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