下载硅锭开方设备的技术资料

文档序号:13304798

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本实用新型提供一种硅锭开方设备,包括:机座;设于机座上、用于承载待切割硅锭的硅锭承载台;设于机座上且相对硅锭承载台移动的线切割单元,线切割单元中包括有形成切割线网的切割线,切割线受控对硅锭承载台上的所述待切割硅锭进行切割;以及设于机座上、用...
该专利属于上海日进机床有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海日进机床有限公司授权不得商用。

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