下载一种双子蓝宝石衬底的技术资料

文档序号:13303432

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本实用新型公开了一种双子蓝宝石衬底,包括聚合物层,所述聚合物层的上表面和下表面分别沉积有上蓝宝石衬底和下蓝宝石衬底,所述上蓝宝石衬底的顶部等距离规则排列有锥形凸块,且上蓝宝石衬底的平坦顶部生长有GaN结晶生长层,所述锥形凸块的锥形顶部和Ga...
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