下载一种有序Sr/Si界面结构的制备方法的技术资料

文档序号:13301402

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本发明公开了一种有序Sr/Si界面结构的制备方法,其步骤包括清洗硅片衬底;使用脉冲激光沉积方法在硅衬底上沉积氧化锶纳米薄膜;制备2×1‑Sr/Si单原子层有序表面结构。本发明采用高真空沉积方法如脉冲激光沉积或射频磁控溅射沉积技术,将1nm厚...
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