下载光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机的技术资料

文档序号:13298361

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本发明公开了一种光学元件支撑结构,用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22),包括镜座(24),所述镜座(24)为圆周对称的机械构件,所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246),所述支撑杆(246)在光轴方向和镜座径向上均具有柔性...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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