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本发明涉及一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法，该检测装置包括：供发射光束的一发射单元、供接收反射光束的一接收单元、一控制单元、以及一影像侦测单元，所述控制单元分别连接控制所述发射单元、所述接收单元和所述影像侦测单元，所述控制单元接收所述发射...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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