专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
住友电气工业株式会社
>
碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法技术
>技术资料下载
下载碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法的技术资料
文档序号:13283714
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供了一种碳化硅锭(1),其包括端表面(1a)和与端表面(1a)相反端表面(1b)。在碳化硅锭(1)中,端表面(1a)和端表面(1b)在生长方向上彼此面对,并且所述生长方向上的氮浓度梯度不小于1×1016cm‑4且不大于1×1018cm‑4...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。