下载碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法的技术资料

文档序号:13283714

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提供了一种碳化硅锭(1),其包括端表面(1a)和与端表面(1a)相反端表面(1b)。在碳化硅锭(1)中,端表面(1a)和端表面(1b)在生长方向上彼此面对,并且所述生长方向上的氮浓度梯度不小于1×1016cm‑4且不大于1×1018cm‑4...
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