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本实用新型提供一种降低多晶硅铸锭含氧量的Ar分流装置，所述Ar分流装置设于坩埚上方，其包括Ar气主管道以及与主管道底部相通的Ar气分流管道；所述的Ar气分流管道位于坩埚对角线的正上方，且与Ar气主管道中心线水平间距为250-350mm；本实...
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