下载半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:13268860

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本发明提供一种半导体结构的形成方法,该方法包括:提供一半导体基板;于该半导体基板的上方形成第一和第二栅极堆叠结构;于该半导体基板中形成第一和第二凹陷;进行一选择性成长步骤,以于该第一凹陷和该第二凹陷中成长一半导体材料,以同时且分别形成第一和...
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