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一种基于反挖槽工艺的双台阶整流芯片制造技术
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文档序号:13267672
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本实用新型属于半导体领域,具体涉及一种基于反挖槽工艺的双台阶整流芯片,包括硅基片,其中,该硅基片包括N型扩散层和P型扩散层,且N型扩散层位于P型扩散层的上方,N型扩散层和P型扩散层之间形成PN结,所述硅基片的上表面上开设有挖槽,挖槽将硅基片...
该专利属于刘志鑫所有,仅供学习研究参考,未经过刘志鑫授权不得商用。
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