下载一种四氯化硅传导炉的箱式加热器的技术资料

文档序号:13265526

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本实用新型涉及一种四氯化硅传导炉的箱式加热器,包括气体混合筛网、加热箱炉和加热源罐,所述加热源罐上设有三根U型换热管,安装在加热箱炉一侧边的加热源罐上的三根U型换热管延伸入加热箱炉内,并封装成一体结构;加热箱炉和加热源罐之间的整体安装方向与...
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