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副卡盘工作台制造技术
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文档序号:13252834
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提供副卡盘工作台,能够适当地检测板状物的偏移。副卡盘工作台(16)配设在卡盘工作台(14)的附近,在该副卡盘工作台的上表面具有吸引并保持板状物(11)的矩形的保持面(16a),其采用如下结构:在保持面上形成有格子状的吸引槽(48),该吸引槽...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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