温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种制造微电机元件的方法，包括使用第一液体蚀刻位于第二层（１５０）之下的第一层（１４０），将第二层暴露于无机的并且可与二氧化碳互溶的第二液体，以及用二氧化碳超临界干燥微电机元件。...
该专利属于自由度半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过自由度半导体公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。